A SIMPLE ULTRAHIGH-VACUUM SHAPE MEMORY EFFECT SHUTTER MECHANISM

被引:1
作者
JARDINE, AP [1 ]
AHMAD, M [1 ]
MCCLELLAND, RJ [1 ]
BLAKELY, JM [1 ]
机构
[1] CORNELL UNIV, DEPT MAT SCI, ITHACA, NY 14853 USA
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1988年 / 6卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.575471
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:3017 / 3018
页数:2
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