AN INVESTIGATION OF AIR-GROWN YTTRIUM-OXIDE AND EXPERIMENTAL-DETERMINATION OF THE SPUTTERING YIELD AND THE INELASTIC MEAN FREE-PATH

被引：43
作者：
REICHL, R
GAUKLER, KH
机构：
来源：
APPLIED SURFACE SCIENCE | 1986年 / 26卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1016/0169-4332(86)90005-X
中图分类号：
O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];
学科分类号：
070304 ; 081704 ;
摘要：
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页码：196 / 210
页数：15
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