THE ETCHING OF GA0.7AL0.3AS USING KI-I2

被引：0
作者：
WISMAYER, AC
WEISS, BL
机构：
来源：
MATERIALS LETTERS | 1988年 / 6卷 / 8-9期
关键词：
D O I：
10.1016/0167-577X(88)90059-6
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
收藏
页码：284 / 286
页数：3
相关论文
共 2 条
1