DIFFERENTIAL METROLOGY OF VERY LARGE-SCALE INTEGRATION, OXIDE ISOLATION STRUCTURES USING A CONFOCAL SCANNING LASER MICROSCOPE

被引：1
作者：
MONAHAN, KM
FASTENAU, RH
TIEN, T
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1116/1.584691
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
引用
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页码：1913 / 1917
页数：5
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