SPATIAL AND TEMPORAL EMISSION-SPECTROSCOPY OF A RADIO-FREQUENCY CAPACITIVELY COUPLED LOW-PRESSURE OXYGEN DISCHARGE

被引：10

作者：

BARNES, RM

WINSLOW, RJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1021/j100506a003

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：1869 / 1875

页数：7

共 7 条

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