INSERTION OF ATOMS OF NICKEL SURFACE-FILMS IN SILICON

被引：0
作者：
DUPLII, SA
PELIKHATYI, NM
STESHENKO, SA
机构：
来源：
IZVESTIYA VYSSHIKH UCHEBNYKH ZAVEDENII FIZIKA | 1989年 / 32卷 / 07期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O4 [物理学];
学科分类号：
0702 ;
摘要：
引用
收藏
页码：36 / 40
页数：5
相关论文
共 14 条
  • [1] THEORY OF IMPLANTATION RECOIL ATOMS
    BETUGANOV, MA
    DIGILOV, MU
    KOSTIKOV, VI
    KUMAKHOV, MA
    [J]. PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH, 1980, 59 (02): : 835 - 842
  • [2] Chu W. K., 1978, BACKSCATTERING SPECT
  • [3] DUPLII SA, 1985, IZV VUZ FIZ+, V28, P112
  • [4] GETMANETS OM, 1984, PROBL YAD FIZ KOSM L, P71
  • [5] GETMANETS OM, 1985, PROBL YAD FIZ KOSM L, P37
  • [6] GETMANETS OM, 1983, PROBL YAD FIZ KOSM L, P80
  • [7] RECOIL IMPLANTATION FROM THIN SURFACE-FILMS ON SILICON
    GROTZSCHEL, R
    KLABES, R
    KREISSIG, U
    SCHMIDT, A
    [J]. RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS, 1978, 36 (3-4): : 129 - 134
  • [8] KANGROPOL YV, 1978, R1511362 PREPR
  • [9] MAIER D, 1973, IONNOE LEGIROVANIE P
  • [10] POUT D, 1982, TONKIE PLENKI
12