REACTIVE ION ETCHING OF GALLIUM-ARSENIDE

被引:0
作者
AVTIUSHKOV, AP
LABUNOV, VA
STEKOLNIKOV, AF
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(89)90834-3
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页数:4
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