MICROMACHINING WITH CLUSTER IONS

被引：27

作者：

HENKES, PRW

KLINGELHOFER, R

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(89)90629-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：541 / 542

页数：2

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共 5 条

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