IOTA, A NEW COMPUTER CONTROLLED THIN-FILM THICKNESS MEASUREMENT TOOL

被引：27

作者：

KONNERTH, KL

机构：

来源：

SOLID-STATE ELECTRONICS | 1972年 / 15卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1101(72)90107-4

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：371 / &

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共 4 条

[1] NONDESTRUCTIVE DETERMINATION OF THICKNESS + REFRACTIVE INDEX OF TRANSPARENT FILMS [J].

PLISKIN, WA ;

CONRAD, EE .

IBM JOURNAL OF RESEARCH AND DEVELOPMENT, 1964, 8 (01) :43-&

[2]

PLISKIN WA, 1969, PROGR ANAL CHEM, V2, P1

[3]

PUGH EM, 1966, ANALYSIS PHYSICAL ME, P6

[4]

REIZMANN T, 1967, SOLID STATE ELECTRON, V10, P625