MODEL OF EPITAXIAL-GROWTH OF GAAS ON SI(100) - NUCLEATION AT SURFACE STEPS

被引:9
作者
ALERHAND, OL
KAXIRAS, E
JOANNOPOULOS, JD
TURNER, GW
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
[2] MIT,LINCOLN LAB,LEXINGTON,MA 02173
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.584627
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:695 / 699
页数:5
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