VAPOR DEPOSITION AND ETCHING OPEN TUBE KINETICS UNDER DIFFUSION CONTROLLED CONDITIONS

被引：14

作者：

KUZNETSO.FA

BELYI, VI

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2407632

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：785 / &

共 14 条

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