BAKABLE ALUMINUM VACUUM CHAMBER AND BELLOWS WITH AN ALUMINUM FLANGE AND METAL SEAL FOR ULTRAHIGH-VACUUM

被引：6

作者：

ISHIMARU, H

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569853

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1853 / 1854

页数：2

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