LINE-PROFILE RESIST DEVELOPMENT SIMULATION TECHNIQUES

被引：117

作者：

JEWETT, RE

HAGOUEL, PI

NEUREUTHER, AR

VANDUZER, T

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,BERKELEY,CA 94720

[2] UNIV CALIF BERKELEY,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/pen.760170610

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

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页数：4