AL3TI FORMATION BY DIFFUSION OF ALUMINUM THROUGH TITANIUM

被引：30
作者：
THUILLARD, M
TRAN, LT
NICOLET, MA
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1988年 / 166卷 / 1-2期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(88)90362-8
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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共 13 条
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  • [13] ZHO XA, 1986, J VAC SCI TECHNOL A, V4, P3199
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