A MONOLITHIC CAPACITIVE PRESSURE SENSOR WITH PULSE-PERIOD OUTPUT

被引：116
作者：
SANDER, CS
KNUTTI, JW
MEINDL, JD
机构：
来源：
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1980年 / 27卷 / 05期
关键词：
D O I：
10.1109/T-ED.1980.19958
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
引用
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页码：927 / 930
页数：4
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