TEM STUDIES OF COLOR BANDS ON HIGH-DOSE, HIGH DOSE-RATE ION-IMPLANTED SILICON-WAFERS

被引:0
作者
FLETCHER, J
BOOKER, GR
机构
[1] OAK RIDGE NATL LAB,DIV SOLID STATE,OAK RIDGE,TN 37830
[2] DEPT MET & SCI MAT,OXFORD OX1 3PH,ENGLAND
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:C389 / C389
页数:1
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