OPTICAL MEASUREMENT OF THE RMS ROUGHNESS OF ION-IMPLANTED SURFACES

被引：1

作者：

CORRELL, FD ^{[1
]}

FERGUSON, CD ^{[1
]}

KANT, RA ^{[1
]}

机构：

[1] USN,RES LAB,WASHINGTON,DC 20375

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(87)90713-0

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页数：3