SELECTIVE LPCVD TUNGSTEN FOR CONTACT BARRIER APPLICATIONS

被引：36

作者：

LEVY, RA

GREEN, ML

GALLAGHER, PK

ALI, YS

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2109047

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1905 / 1912

页数：8

共 20 条

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