SPECTROSCOPIC INVESTIGATION OF REACTIVE SPUTTERING OF ALUMINIUM

被引：55

作者：

STIRLING, AJ

WESTWOOD, WD

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(71)90009-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：1 / &

共 11 条

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