ALTERATION OF NI SILICIDE FORMATION BY N IMPLANTATION

被引：20

作者：

WIELUNSKI, L ^{[1
]}

SCOTT, DM ^{[1
]}

NICOLET, MA ^{[1
]}

VONSEEFELD, H ^{[1
]}

机构：

[1] CALTECH,PASADENA,CA 91109

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.92259

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：106 / 108

页数：3

共 5 条

CANALI, C ;

CATELLANI, F ;

OTTAVIANI, G ;

PRUDENZIATI, M .

[2]

DEARNALEY G., 1973, ION IMPLANTATION

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NICOLET, MA ;

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[4]

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[5]

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