PREPARATION AND PROPERTIES OF CARBON-FILMS WITH MAGNETRON SPUTTERING

被引：7

作者：

HOSOKAWA, N ^{[1
]}

KONISHI, A ^{[1
]}

HIRATSUKA, H ^{[1
]}

ANNOH, K ^{[1
]}

机构：

[1] JAPAN ATOM ENERGY RES INST,MIMATO KU,TOKYO,JAPAN

来源：

THIN SOLID FILMS | 1980年 / 73卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(80)90337-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：2

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