A NON-DESTRUCTIVE METHOD TO DETERMINE THE STRESS DISTRIBUTIONS OF NEON-IMPLANTED GARNET LAYERS

被引:15
作者
DEROODE, WH
SMITS, JW
机构
关键词
D O I
10.1063/1.329203
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:3969 / 3973
页数:5
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