HIGH-VELOCITY CARBON-DIOXIDE SNOW FOR CLEANING VACUUM-SYSTEM SURFACES

被引：20

作者：

LAYDEN, L

WADLOW, D

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1990年 / 8卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.576465

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：3881 / 3883

页数：3

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共 3 条

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