COMPOSITION AND RESISTIVITY OF SPUTTERED TUNGSTEN SILICIDES

被引：5
作者：
HARA, T
HAYASHIDA, H
TAKAHASHI, S
机构：
来源：
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1988年 / 135卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1149/1.2095855
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
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页码：970 / 973
页数：4
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共 9 条
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