PREPARATION OF CO-N FILMS BY RF-SPUTTERING

被引:110
作者
ODA, K [1 ]
YOSHIO, T [1 ]
ODA, K [1 ]
机构
[1] YONAGO NATL COLL TECHNOL,YONAGO 683,JAPAN
关键词
D O I
10.1007/BF01086464
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:2729 / 2733
页数:5
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