EPITAXIAL-GROWTH OF SILICON BY PLASMA CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION AT A VERY LOW-TEMPERATURE OF 250-DEGREES-C

被引:31
作者
NAGAMINE, K
YAMADA, A
KONAGAI, M
TAKAHASHI, K
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1987年 / 26卷 / 06期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.26.L951
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:L951 / L953
页数:3
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