HIGHLY UNIFORM, HIGH-PURITY GAAS EPITAXIAL LAYER GROWN BY MBE USING TRIETHYLGALLIUM AND ARSENIC

被引:7
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作者
SAITO, J [1 ]
ONO, K [1 ]
NANBU, K [1 ]
ISHIKAWA, T [1 ]
KONDO, K [1 ]
机构
[1] FUJITSU LABS LTD, ATSUGI 24301, JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.27.L1144
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L1144 / L1147
页数:4
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