THIN-FILM TECHNOLOGY FOR SOLID ELECTROLYTE FUEL-CELLS BY THE RF SPUTTERING TECHNIQUE

被引：46
作者：
NEGISHI, A
NOZAKI, K
OZAWA, T
机构：
来源：
SOLID STATE IONICS | 1981年 / 3-4卷 / AUG期
关键词：
D O I：
10.1016/0167-2738(81)90129-6
中图分类号：
O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];
学科分类号：
070304 ; 081704 ;
摘要：
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页码：443 / 446
页数：4
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共 4 条
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CROSET, M ;
SCHNELL, JP ;
VELASCO, G ;
SIEJKA, J .
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1977, 48 (02) :775-780
[2]   MORPHOLOGICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF RF SPUTTERED Y2O3-DOPED ZRO2 THIN-FILMS [J].
GREENE, JE ;
WICKERSHAM, CE ;
ZILKO, JL ;
WELSH, LB ;
SZOFRAN, FR .
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1976, 13 (01) :72-75
[3]  
ISENBERG AO, 1980, NATIONAL FUEL CELL S, P135
[4]  
KOBAYASHI S, 1979, S BASIC CERAMICS KYO, P88
1