FILM STRESS IN HIGH-DENSITY THIN-FILM INTERCONNECT

被引:5
作者
PAN, JT
POON, S
机构
来源
ELECTRONIC PACKAGING MATERIALS SCIENCE IV | 1989年 / 154卷
关键词
D O I
10.1557/PROC-154-27
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
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页数:11
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