Structure of oxidized silicon film

被引:3
作者
Kamogawa, H [1 ]
机构
[1] Tokyo Elect Co, Res Lab, Kawasaki, Japan
来源
PHYSICAL REVIEW | 1938年 / 54卷 / 01期
关键词
D O I
10.1103/PhysRev.54.91
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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共 4 条
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  • [2] SHISHACOW, 1936, COMPTES RENDUS ACAD, V1, P19
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