MEASUREMENTS OF ALPHA-EMITTING CONTAMINANTS IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING MATERIALS

被引：0

作者：

BOULDIN, DP ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,DIV GEN TECHNOL,ESSEX JUNCTION,VT 05452

来源：

ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY | 1980年 / 180卷 / AUG期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

引用

页码：147 / NUCL