CHEMICALLY-INDUCED GRAIN-BOUNDARY MIGRATION IN DOPED POLYCRYSTALLINE SILICON FILMS

被引:3
作者
TU, KN
TERSOFF, J
CHOU, TC
WONG, CY
机构
关键词
D O I
10.1016/0038-1098(88)90499-1
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
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