ANOMALIES OF ENERGY OF POSITIVE IONS EXTRACTED FROM HIGH-FREQUENCY ION SOURCES . A THEORETICAL STUDY

被引:119
作者
BENOITCATTIN, P
BERNARD, LC
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1656039
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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