RESISTIVITY OF DOPED POLYCRYSTALLINE SILICON FILMS

被引:53
作者
FRIPP, AL
SLACK, LH
机构
[1] LANGLEY RES CTR,HAMPTON,VA 23365
[2] VIRGINIA POLYTECH INST & STATE UNIV,DEPT MET & CERAMICS,BLACKSBURG,VA 23601
关键词
D O I
10.1149/1.2403390
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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