DETERMINATION OF LOCATION OF OXYGEN IMPLANTED IN SILICON LATTICE

被引：0

作者：

KRYUCHKOV, YY ^{[1
]}

TIMOSHNIKOV, YA ^{[1
]}

CHERNOV, IP ^{[1
]}

SLAVIN, NV ^{[1
]}

AZIKOV, BS ^{[1
]}

机构：

[1] SM KIROV POLYTECH INST,NUCL PHYS RES INST,TOMSK,USSR

来源：

SOVIET PHYSICS SEMICONDUCTORS-USSR | 1977年 / 11卷 / 07期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O469 [凝聚态物理学];

学科分类号：

070205 ;

摘要：

引用

页码：829 / 830

页数：2