PREPARATION OF HIGH-PURITY SILICON FROM SILANE

被引：12

作者：

LEWIS, CH

KELLY, HC

GIUSTO, MB

JOHNSON, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2427966

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1114 / 1118

页数：5

共 9 条

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