UNDERCUTTING PHENOMENA IN AL PLASMA-ETCHING

被引：14
作者：
ODA, M
HIRATA, K
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1980年 / 19卷 / 07期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.19.L405
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L405 / L408
页数：4
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