PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF PLASMA POLYMERIZED ETHYLENE-OXIDE THIN-FILMS

被引:0
作者
PROHASKA, GW
NICKOSON, CG
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.575246
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:1918 / 1919
页数:2
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共 2 条
[1]  
Gazicki M., 1983, Plasma Chemistry and Plasma Processing, V3, P279, DOI 10.1007/BF00564629
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