MONTE-CARLO SIMULATION OF FAST SECONDARY-ELECTRON PRODUCTION IN ELECTRON-BEAM RESISTS

被引:163
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作者
MURATA, K
KYSER, DF
TING, CH
机构
关键词
D O I
10.1063/1.329366
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4396 / 4405
页数:10
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