EFFECT OF OXYGEN IMPURITIES ON NITRIDATION OF HIGH-PURITY SILICON

被引：22

作者：

MESSIER, DR ^{[1
]}

WONG, P ^{[1
]}

INGRAM, AE ^{[1
]}

机构：

[1] USA,MAT & MECH RES CTR,WATERTOWN,MA 02172

来源：

关键词：

D O I：

10.1111/j.1151-2916.1973.tb15436.x

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：171 / 172

页数：2

共 9 条

[1]

BILLY M, 1959, ANN CHIM PARIS, V4, P795

EVANS, JW ;

CHATTERJI, SK .

[3]

HORSLEY RF, 1971, THESIS U LEEDS

[4]

Huttinger K. J., 1970, High Temperatures - High Pressures, V2, P89

[5]

HUTTINGER KJ, 1969, HIGH TEMP HIGH PRESS, V1, P221

[6]

MESSIER DR, 1972, AM CERAM SOC BULL, V51, P429

[7]

MESSIER DR, 1972, AMMRCTR7210 TECH REP

[8]

POPPER P, 1961, BRIT CERAM T, V60, P603

[9]

Wild S, 1972, SPECIAL CERAMICS, V5, P271