TANTALUM SILICIDE FILMS DEPOSITED BY DC SPUTTERING

被引：27

作者：

ANGILELLO, J

BAGLIN, JEE

CARDONE, F

DEMPSEY, JJ

DHEURLE, FM

IRENE, EA

MACINNES, R

PETERSSON, CS

SAVOY, R

SEGMULLER, AP

TIERNEY, E

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1007/BF02654902

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：59 / 93

页数：35

共 36 条

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853 STAND DIFFR POWD