THERMAL-OXIDATION OF SPUTTERED TIN DIFFUSION-BARRIERS

被引：13

作者：

SIGURD, D ^{[1
]}

SUNI, I ^{[1
]}

WIELUNSKI, L ^{[1
]}

NICOLET, MA ^{[1
]}

VONSEEFELD, H ^{[1
]}

机构：

[1] CALTECH, PASADENA, CA 91125 USA

来源：

SOLAR CELLS | 1981年 / 5卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0379-6787(81)90018-1

中图分类号：

TE [石油、天然气工业]; TK [能源与动力工程];

学科分类号：

0807 ; 0820 ;

摘要：

引用

页码：81 / 86

页数：6

共 13 条

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