DETERMINATION OF DIFFUSION-COEFFICIENT OF PHOSPHORUS IN SILICON BY BOLTZMANN-MATANOS METHOD

被引：2
作者：
MATSUMOTO, S
NIIMI, T
YOSHIDA, M
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1972年 / 11卷 / 09期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.11.1386
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：1386 / +
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共 3 条
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