METHOD FOR DETERMINING COMPOSITION PROFILES AND DIFFUSION-GENERATED SUBSTRUCTURE IN SMALL DIFFUSION ZONES

被引:23
作者
CARPENTER, JA
TENNEY, DR
HOUSKA, CR
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1659771
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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