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ZANZUCCHI PJ, 1978, APPL OPTICS, V17, P3477, DOI 10.1364/AO.17.003477
CHARACTERIZATION OF SMALL DIFFERENCES IN SURFACE-POLISHING QUALITY OF SILICON-WAFERS BY SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY
被引：0
作者：
CHEN, Z
QIAN, YH
机构：
来源：
CHINESE PHYSICS-ENGLISH TR
|
1989年
/
9卷
/
02期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O4 [物理学];
学科分类号：
0702 ;
摘要：
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页码：525 / 529
页数：5
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