GROWTH-RATES AND ELECTRICAL-CONDUCTIVITY OF MICROSCOPIC OHMIC CONTACTS FABRICATED BY LASER CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF PLATINUM

被引：35
作者：
BRAICHOTTE, D
VANDENBERGH, H
机构：
来源：
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING | 1987年 / 44卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1007/BF00624603
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：353 / 359
页数：7
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  • [1] BAUERLE D, 1986, SPRINGER SER MAT SCI, V1
  • [2] Braichotte D., 1986, Proceedings of the International Conference on Lasers '85, P688
  • [3] Braichotte D., 1984, SPRINGER SER CHEM PH, V39, P183
  • [4] BRAICHOTTE D, 1987, P NATO WORKSHOP EMER
  • [5] BRAICHOTTE D, 1986, LASER PROCESSING DIA, V2, P95
  • [6] BRAICHOTTE D, UNPUB APPL PHYS LETT
  • [7] BRAICHOTTE D, UNPUB
  • [8] Braichotte D., 1985, SPRINGER SER OPT SCI, V48, P38
  • [9] COMPARISON OF LASER-INITIATED AND THERMAL CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF TUNGSTEN FILMS
    DEUTSCH, TF
    RATHMAN, DD
    [J]. APPLIED PHYSICS LETTERS, 1984, 45 (06) : 623 - 625
  • [10] GILGEN HH, COMMUNICATION
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