CHARACTERIZATION OF CRYSTALLINE QUALITY OF DIAMOND FILMS BY RAMAN-SPECTROSCOPY

被引:163
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作者
YOSHIKAWA, M [1 ]
KATAGIRI, G [1 ]
ISHIDA, H [1 ]
ISHITANI, A [1 ]
ONO, M [1 ]
MATSUMURA, K [1 ]
机构
[1] TORAY INDUSTRIES LTD, ELECTR & IMAGING MAT RES LAB, OTSU, SHIGA 520, JAPAN
关键词
D O I
10.1063/1.101951
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2608 / 2610
页数:3
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